“蓝河科技与申市微电子科技达成战略合作, 共同组装13.5nmEUV,已完成仿真建模的初步阶段。同时水木大学的朱教授传来双工作台系统核心技术被攻破、南大光电研发的ArF光刻胶进度飞速,申市和春城光机所一直承接国家02专项光学系统……”
“蓝河科技有信心于今年年底完成13.5nm极紫外光刻机的工程验收。”盛明安顿了顿, 环顾演讲厅一圈, 询问:“有要提问的吗?”
――
全场安静,没人提问。
盛明安挑眉, 学术圈不是很挑剔的吗?
一般来说, 有关学术的研讨会都会引来大批听起来很像刁难的提问,上午的主题演讲和前几个专题研讨会后期举手询问的人很多, 哪怕是某场非常敷衍的演讲也有主办方提前安排演员举手提问, 以免出现冷场的尴尬局面。
怎么轮到他了, 却没人提问?
难道是他承诺年底完成13.5nm光刻机工程验收太夸张,没有人相信?
他平时没这么冒进, 只是莫伦科夫等人的做法太卑鄙让他难得生出怒气, 这才抛弃原先保守的演讲,进而依靠前世研发组装光刻机的知识临时丰富演讲内容、大胆预言年底交出令世人瞩目的完美答卷。
但这也不算夸大海口,在盛明安原先的计划里, 他确实打算年底完成一台13.5nm光刻机验收, 明年第一季度售出可量产的高阶EUV。
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