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老美那边搞EUV搞得如火如荼，国内却半点“动静”都没，并不是真实情况。

事实上，再老美EUV联盟成立的当月，中科院的几大光机所就联合召开了数次会议，讨论如何实现EUV光源。

毕竟，遇事不决先摸一把鹰酱，这是传统技艺了。

在这方面，中科院诸位那可谓是老手艺人。

讨论的结果自然是不容乐观的。

国内光学技术的扛把子，长光所，为了支持国产光刻机激光光源的发展，几乎是把所有精锐和骨干都拿去支援了赵凯东——甚至赵凯东本身就是国内准分子激光领域的专家，也是亲自引导着激光光源的半导体领域市场化的先行者。

所以，当时尚未企业化的赵凯东团队，便在下一代光源上的发展方向上拥有极大的话语权。

在会上，赵凯东力排众议，认为国内的半导体光源领域要一步一个脚印，现在可以对EUV进行理论上的研究，但最重要的还是需要把眼前的事做好，譬如积极推进Arf光源的市场化，进一步巩固基础，培养人才。

再加上老美那边牵头的阵仗实在太大，国内唯一有资格与之掰一下手腕的远芯又“兴致缺缺”，和赵凯东秉持一个态度……

当然，项虽然没有立，但不表示就真埋起头当鸵鸟了。长光所还是从有限的经费和人员中开展了对EUV理论上的推动，甚至还拉着科研经费逐渐富裕起来的清华成立了联合的小组。

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