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今天是洪湖市洪山区的中晶微公司晶圆厂设备进厂的日子,两台瑞星科技公司光刻机被存进了恒温仓库,今天被运抵厂区,需要在吊车的协助下吊装进厂房。
此刻厂房二楼外墙上拉开了一扇预留的大门,门下临时搭起了一个运输平台。
起重吊车轰鸣着,将运输卡车上那个用一层层保温材料包裹着的设备箱缓缓吊起,平稳送上了二楼平台,随即设备箱被安装人员在平台上打开,将里面那台用一层层保温防尘膜裹紧的光刻机推到了滑轮台上,然后被小心地推进活动门。
随着被多层薄膜裹得严严实实的两台光刻机前后消失在门内,工作人员将大门缓缓合拢,工程师们鱼贯爬上平台,开始对大门与墙体接缝处进行密封施工。
谭云松此时手拿对讲机发号施令:“设备一组各就各位,立刻对光刻间进行一级除尘,注意控温,三小时后摘除第一层防尘恒温罩,明天天亮之前要把所有防尘恒温罩摘除,明天一定要进入机位安装程序,绝不能耽误瑞星科技公司安装人员的工作日程!”
杨杰在谭云松身旁静静地看着他指挥,心中感慨良多。
这是第一座在洪湖市落户的第一个0.18微米十二英寸晶圆厂,经过一年多的紧张施工,现在终于进入了设备安装调试阶段,这也算是亚洲第一座最先进的晶圆厂了。
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