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周日的早晨,天音芯片厂车间里,段云以及吴刚带领的7名技术人员,还有那两名荷兰工程师,早早就等待了无尘车间的C区,准备对新生产线进行最后的测试。
吴刚等7名技术人员全部签订了保密协议,他们也是整个芯片厂几十名技术人员中,少数有资格进入C区的工作人员。
因为这4台阿斯麦光刻机还属于禁运产品,为了不给阿斯麦公司造成麻烦,段云对新生产线的消息进行了严格封锁,并且将机器上的logo和标识全部刮除,重新刷上了一层防锈漆,整个机器找不到关于厂家的任何标志。
另外C区连接目前东芝生产线的A区只有一个产品通行传输带,从东芝生产线生产出来的晶圆片会通过传输带运到C区,经过光刻处理之后,再重新传送到A区,新车间非常的隐蔽,人员过道还加装了磁卡门禁,这道门禁支持录入20张磁卡,没有磁卡的人是无法进入C区的。
“可以开始了吗?”一切准备就绪之后,段云对两名荷兰工程师问道。
“可以了。”文森特应了一声,然后坐在控制台上,输入一串密码后,启动了光刻机。
相比于日本的东芝光刻机,阿斯麦的光刻机外观看起来更加的紧凑,主要分为三个部分,曝光台,测量台,以及拥有两个显示器的操作台。
随着操作台主显示器上一串代码闪过之后,曝光台开始发出了轻微的嗡鸣声,紧接着圆晶片开始进入光刻阶段。
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